高低溫真空探針臺(tái)

產(chǎn)品型號(hào)：HCVP系列

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

所在地：北京市

更新日期：2026-02-06

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

華測(cè)儀器 HCVP系列高低溫真空探針臺(tái)

價(jià)格僅供參考，如需獲取更詳盡的產(chǎn)品技術(shù)規(guī)格書、定制方案或應(yīng)用案例，歡迎致電我司技術(shù)工程師

HCVP系列高低溫真空探針臺(tái)由華測(cè)儀器生產(chǎn)，是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu)，測(cè)試人員把需要量測(cè)的器件放到探針臺(tái)載物臺(tái)(chuck)上，在顯微鏡配合下，X-Y移動(dòng)器件，找到需要探測(cè)的位置，接下來通過旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針(射頻或直流探針)，準(zhǔn)確扎到被測(cè)點(diǎn)，從而使其訊,號(hào)線與外部測(cè)試機(jī)導(dǎo)通，通過測(cè)試機(jī)可以得到所需要的電性能參數(shù)。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

真空-溫度協(xié)同控制

真空系統(tǒng)：分子泵+渦旋泵多級(jí)抽氣，30分鐘內(nèi)實(shí)現(xiàn)10^-6torr級(jí)真空度，支持惰性氣體氛圍切換；

超寬溫域：液氮制冷與電極加熱復(fù)合控溫，控溫穩(wěn)定性±0.1K。

測(cè)量能力

抗干擾設(shè)計(jì)：真空屏障腔體降低電磁噪聲，支持皮安級(jí)微弱電流與μΩ級(jí)（微歐級(jí)）電阻測(cè)量；

多通道拓展：標(biāo)配4探針臂（可擴(kuò)展至6探針臂），支持四線法、射頻探針、光電協(xié)同測(cè)試。

產(chǎn)品參數(shù)

腔體

樣品臺(tái)尺寸：2英寸/ 4英寸 / 6英寸

樣品固定：彈簧壓片

觀察窗口：2英寸 / 4英寸 / 6英寸

真空度：10^-6torr

探針臂接口：至多6個(gè)探針臂接口

其它接口：信號(hào)接口、真空接口、光纖接口、冷源接口

制冷方式：液氮/液氦 / 制冷機(jī)

控制方式：開循環(huán)手動(dòng) / 閉循環(huán)自動(dòng)控制

溫度范圍：77K ~ 450K / 4.5K~450K

溫度分辨率：0.1K / 0.01K / 0.001K

穩(wěn)定性：±1K / ±0.1K / ±0.01K